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氮化硅压力烧结炉(立式)
氮化硅压力烧结炉(立式)
产品描述:
氮化硅压力烧结炉(立式)主要用于半导体领域氮化硅陶瓷制品的真空烧结和气压烧结等。
应用范围:
氮化硅陶瓷球、轴承、导热基板、平台、导轨、刀具、结构件等。

氮化硅压力烧结炉(立式)技术特征

主要采用特殊化的炉胆机构和供暖器布局,炉温匀性好;

全密封盖马弗,密封盖效率好,抗废弃物特性强;

可应有涡流焙烧、各种压力焙烧、空气压力脱脂焙烧等系统;

含有超温背压式汽轮机等系统故障报警装置,机式全自动有压力保护区,过程互锁等工作,机器防护高朝;

可选择配脱脂系统化,实现目标工业陶瓷材质的脱脂焙烧多次性处里;

适于工艺气氛:N2/Ar/H2

氮化硅压力烧结炉(立式)产品规格

款式/因素VPSF-0612VPSF-0917VPSF-1015VPSF-1120
工作区尺寸
W×H×L(mm)
φ600×1200φ900×1700φ1000×1500φ1100×2000
最高温度(℃)2000200020002000
温度均匀性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-100
最高压力(MPa)<10<10<10<10

氮化硅压力烧结炉(立式)配置选择

结构设计风格:柜式-单关门/双关门;落地式-上起料/下出料口

炉暗锁紧形式:清理/自动的

炉壳原料:全碳素钢/里边不锈钢装饰管材质的/全不锈钢装饰管材质的/Q345

保温层材質:碳毡/石墨毡/碳黏胶纤维固定毡

受热器、马弗木头材质:石墨/CFC

pt100:K/N/C/S测量范围号(钨电缆电缆套管/陶瓷厂家电缆电缆套管)

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