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氮化铝烧结炉(卧式)
氮化铝烧结炉(卧式)
产品描述:
氮化铝烧结炉(卧式)主要用于半导体领域的氮化铝陶瓷胚体和制品的气氛烧结、真空烧结。
应用范围:
载盘、导轨和工件台、机械臂、静电吸盘、透明陶瓷、靶材等、高导热基板、加热器、结构件

氮化铝烧结炉(卧式)技术特征

使用个性化的炉胆形式和进行电加热布置准备,炉温平滑性好;

全密闭式马弗,密封垫成果好,抗感染的能力强;

可必备条件重力作用辊道窑、压力差脱脂辊道窑、载气脱脂辊道窑等功能模块;

可供选择配脱脂系统性,实现目标瓷器成品的脱脂辊道窑连续性净化处理;

适于工艺气氛:N2/Ar/H2

氮化铝烧结炉(卧式)产品规格

参数设置\形号HSN-040418HSN-050515HSN-060612HSN-060618
工作区尺寸 W×H×L(mm)400×400×1800500×500×1500600×600×1200600×600×1800
最高温度(℃)1500-20001500-20001500-20001500-2000
温度均匀性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa)10-4-10010-4-10010-4-10010-4-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.67
大于产品参数可给出工艺设计特殊要求来进行更改,不于为初验理论依据,主要以枝术情况报告和协议书是以。

氮化铝烧结炉(卧式)配置选择

炉锁紧手段:人工操作/电脑自动

炉壳面料:全碳钢板/外层不绣钢/全不绣钢

隔热质量:碳毡/石墨毡/碳黏胶纤维凝固后毡

高温器、马弗所选材质:石墨/CFC/陶瓷厂家

热电阻:K/N/C/S量程号(钨电缆防水套管/钼电缆防水套管/陶瓷厂家管)

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