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关键词：真空脱脂压力烧结炉气压烧结炉陶瓷压力烧结炉氮化硼烧结炉
氮化硅压力烧结炉（卧式）
氮化硅压力烧结炉（卧式）
产品描述：
氮化硅压力烧结炉（卧式）主要用于半导体领域氮化硅陶瓷制品的真空烧结和气压烧结等。
应用范围：
氮化硅陶瓷球、轴承、导热基板、平台、导轨、刀具、结构件等。

氮化硅压力烧结炉（卧式）技术特征

用到特殊性的炉胆格局和电加热板摆置，炉温均匀分布性好；

全封闭空间马弗，抽真空效用好，抗弄脏力量强；

可满足涡流焙烧、心理压力焙烧、正压脱脂焙烧等作用；

具有着超温过压等系统故障警告，机诫式自行负压守护，工作互锁等性能，设施设备健康性强；

能选配脱脂系统的，推动瓷质包装材料的脱脂焙烧一下性工作；

适于工艺气氛：N2/Ar/H2。

氮化硅压力烧结炉（卧式）产品规格

应用/参数值HPSF-4412HPSF-5518HPSF-6615HPSF-6618HPSF-9915
工作区尺寸
W×H×L（mm）		400×400×1200500×500×1200500×500×1800600×600×1800900×900×1500
最高温度（℃）20002000200020002000
温度均匀性（℃）±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度（Pa）1-1001-1001-1001-1001-100
最高压力（MPa）10＜10＜10＜10＜10

以上的性能指标可可根据加工过程特殊要求对其进行校准，不用作为工程验收保证，明确以新技术规范格式和协议模板来算。

氮化硅压力烧结炉（卧式）配置选择

构成形势：臥式-单锁门/双锁门；垂直-上长料/下打料

炉电控锁紧行为：手动挡/主动

炉壳材质原料：全冷轧钢/里层不锈钢304304/全不锈钢304304/Q345

隔温的材料：碳毡/石墨毡/碳纤材料固有毡

供暖器、马弗材质原料：石墨/CFC

热电阻：K/N/C/S测量范围号（钨防水保护管/瓷器防水保护管）

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