卧式化学气相沉积炉（沉积炭）技术特征

热敏电阻炉可应用多温区单独的控温，湿度透亮性好；

进行智能化压强干预，压强下降小；

全开放式累积室，胶封管用好，抗生态破坏程度强；

多路通道加工过程气路，注意事项饱满，无形成任何死角，形成视觉效果最好的；

多用优质废气处置体统，环境和谐，能优质抽取焦油含量及副货物，易彻底清除；

可以选择配外反复的快冷程序，升温时间段短，制作能力高；

卧式化学气相沉积炉（沉积炭）产品规格

参数指标\型号查询	HCVD-060609-C	HCVD-101015-C	HCVD-121220-C	HCVD-151530-C	HCVD-152023-C	HCVD-252035-C
工作区尺寸 W×H×L（mm）	600×600×900	1000×1000×1500	1200×1200×2000	1500×1500×3000	1500×2000×2300	2500×2000×3500
最高温度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均匀性（℃）	±5	±7.5	±10	±10	±10	±10
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电容	内阻	阻值	内阻	电阻值

以内规格可表明加工工艺规范完成修正，不予为初验基本原则，重要以新技术工作方案和协义是以。

卧式化学气相沉积炉（沉积炭）配置选择

的结构模式：离心式-单開門/双開門；垂直-上长料/下放料

炉暗锁紧措施：智能/智能

炉壳材质原料：全碳钢板/里边不锈钢圆管装饰管/全不锈钢圆管装饰管

隔温材料做：碳毡/石墨毡/碳纤棉应用毡/瓷器玻纤棉毡

升温器、马弗：石墨/CFC/复合

pt100：K/N/C/S量程号

24v电源：KGPS/IGBT(仅使中用中频高温)