超高温硼化物沉积炉技术特征

采用先进的控制技术，能精密控制H₂、C₃H₆的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动小；

全通风积聚室，密封圈目的好，抗环境污染业务能力强；

多出入口技艺气路，流场竖直，无累积墙边，累积成果好；

三级高效、性价比最高排放治理软件，能管用治理高浸蚀性排放、可燃易爆气休、固状煤尘及低沸点粘力化合物，环境合理；

先选配新方案的抗侵蚀蚀重力作用发动机组，持续精力业务精力长，维护保养率低；

适于工艺气氛：真空/H₂/N₂/Ar/C₃H₆/ZrCl₄/HfCl₄/BCl₃/TaCl₅/ZrB₂/HfB₂/TaB₂。

超高温硼化物沉积炉产品规格

性能\款式	HCVD-101015-ZrC	HCVD-152023-ZrC	VCVD-0608-ZrC	VCVD-0812-ZrC	VCVD-1120-ZrC	VCVD-1218-ZrC	VCVD-1520-ZrC
工作区尺寸 W×H×L（mm）	1000×1000×1500	1500×2000×2300	600×800	800×1200	1100×2000	1200×1800	1500×2000
最高温度（℃）	2000	2000	2000	2000	2000	2000	2000
温度均匀性（℃）	±10	±15	±5	±7.5	±10	±10	±15
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻	电容	电阻

以上内容参数设置可不同施工工艺符合要求确定懂得调整，不予为报验标准，到底以技能方法和协议格式算起。

超高温硼化物沉积炉配置选择

型式方法：直列V型-单下班/双下班；直列V型-上起料/下出料口

炉暗锁紧办法：清理/系统自动

炉壳材質：里层304不锈钢材质/全304不锈钢材质

隔热原料：碳毡/石墨毡/碳化学纤维凝固后毡

调温器、马弗布料材质：石墨/CFC

热电偶及补偿导线：C/S精度等级号

红外仪：单比色/双比色

涡流泵：机器泵组/耐锈蚀泵组