超高温碳化物沉积炉技术特征

采用先进的控制技术，能精密控制H₂、C₃H₆的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动小；

全紧闭的堆积室，封好实际较好，抗弄脏实力强；

多过道施工工艺气路，流场不均，无堆积盲区，堆积感觉好；

多极提高效率废气排放治理操作系统，能能够治理高的腐蚀影响废气排放、易燃性易爆其他气体、无水硫酸铜焊接烟尘及低沸点磁性产品，环保和谐；

待选配新构思的防锈蚀机械泵发动机组，一直作业日期长，维修保养率低；

适于工艺气氛：真空/H₂/N₂/Ar/C₃H₆/ZrCl₄/HfCl₄/BCl₃/TaCl₅/ZrB₂/HfB₂/TaB₂。

超高温碳化物沉积炉产品规格

参数设置\材质	HCVD-101015-ZrC	HCVD-152023-ZrC	VCVD-0608-ZrC	VCVD-0812-ZrC	VCVD-1120-ZrC	VCVD-1218-ZrC	VCVD-1520-ZrC
工作区尺寸 W×H×L（mm）	1000×1000×1500	1500×2000×2300	600×800	800×1200	1100×2000	1200×1800	1500×2000
最高温度（℃）	2000	2000	2000	2000	2000	2000	2000
温度均匀性（℃）	±10	±15	±5	±7.5	±10	±10	±15
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻	内阻	内阻

上面的性能可基于技艺请求使用变动，不是 为初步验收前提条件，中应以工艺措施和协议范本应写。

超高温碳化物沉积炉配置选择

型式结构类型：臥式-单关门/双关门；垂直-上长料/下上料

炉锁芯紧策略：人工操作/半自动

炉壳原料：内部不锈钢圆管管/全不锈钢圆管管

保温隔热木头材质：碳毡/石墨毡/碳人造纤维凝固后毡

加熱器、马弗金属材质：石墨/CFC

电偶：C/S量程号

红外仪：单比色/双比色

真空室泵：自动化机械泵组/耐生锈泵组