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用好的控住技艺，能精密仪器控住MTS的客流量和各种气压，炉膛内火成岩气体流动增强，各种气压冲击范围图小；
全密闭式沉积物室，封好感觉好，抗弄脏工作能力强；
多通畅生产工艺气路，流场匀，无累积墙角，累积特效好；
多级别高效、性价比最高废气除理装置，能合理有效除理高的耐酸性废气、易然易爆物质、物质尘土及低凝固点黏性有机物，生态和睦；
供选择配新方案的防侵蚀蚀真空体机柜，坚持工作任务的时间长，维修培训率很低；
使用工艺气氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
| 参数指标\机型 | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608-SIC | VCVD-0812-SIC | VCVD-1120-SIC | VCVD-1520-SIC |
| 工作区尺寸D×H（mm） | 300×500 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1500×2000 |
| 最高温度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均匀性（℃） | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 |
| 极限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 电阻值 | 热敏电阻 | 电容 | 内阻 |
上数据可不同工艺技艺请求来进行调节，不予为质量检查合理性，到底以技艺方案范文和协商应写。
格局组织形式：落地式-单打开业/双打开业；落地式-上长料/下进料
炉防盗锁紧方法：人工机械/自动的
炉壳原料：内部冷库保温隔热板的表层材料/全冷库保温隔热板的表层材料
外保温材质原料：碳毡/石墨毡/碳人造化学纤维应用毡/瓷质人造化学纤维毡
加熱器、马弗不锈钢材质：石墨/CFC/金属材质
热电偶及补偿导线：K/N/C/S度数号
真空环境泵：厂家泵组/耐生锈泵组
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