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关键词:化学气相沉积炉CVD气相沉积炉化学气相沉积设备CVD系统
立式化学气相沉积炉(沉积炭)
立式化学气相沉积炉(沉积炭)
产品描述:
立式化学气相沉积炉(沉积炭)用于以碳氢气体(天然气、丙烷、丙烯)为碳源的预制体气相渗透增密处理
应用范围:
炭/炭刹车盘、炭炭板材、晶体炉坩埚、热压模具、高温发热体/紧固件、热场材料等

立式化学气相沉积炉(沉积炭)技术特征

内阻炉可适用多温区自主控温,温度表饱满性好;

选择智力压差干预,压差下跌小;

全封闲堆积室,良好的密封性功效好,抗环境污染特性强;

多区域技术气路,工作流程平滑,无形成沉淀方位,形成沉淀实际见效快;

层级极有效率氮氧化合物加工整体,场景合理,能极有效率收集整理渣油及副有机物,易除去;

可选择配外循环往复快冷机系统,降低温度期限短,制造转化率高;

立式化学气相沉积炉(沉积炭)产品规格

参数设置\参数VCVD-0305-CVCVD-0608-CVCVD-0812-CVCVD-1120-CVCVD-1320-CVCVD-1520-C
工作区尺寸D×H(mm) Φ300×500Φ600×800Φ800×1200Φ1100×2000Φ1300×2000Φ1500×2000
最高温度(℃) 1500 1500 1500 15001500 1500
温度均匀性(℃) ±5/±10 ±7.5/±10 ±7.5/±15±10/±15±10/±15±10/±20
极限真空度(Pa) 1-100 1-100 1-100 1-1001-100 1-100
压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.670.67 0.67
加热方式电阻/感应内阻/传器电阻功率/感应式电阻器/自感应内阻/感性内阻/感觉

性能\主要参数VCVD-1822-CVCVD-2032-CVCVD-2632-CVCVD-3344-CVCVD-6660-C
工作区尺寸D×H(mm) Φ1800×2200Φ2000×3200Φ2600×3200Φ3300×4400Φ6600×6000
最高温度(℃) 1500 1500 1500 15001500
温度均匀性(℃)±15±15±15±20±20
极限真空度(Pa) 1-100 1-100 1-100 1-1001-100
压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.670.67
加热方式电阻电阻功率内阻电阻器功率电阻

上面的参数值可基于艺需要确定整改,未最为收货基本原则,到底以枝术规划和合同书为基准。

立式化学气相沉积炉(沉积炭)配置选择

结构类型方式:臥式-单开业/双开业;双面-上有料/下上料

炉执手门锁紧模式:会自动/会自动

炉壳质地:全碳钢板/内部304不绣钢材质/全304不绣钢材质

恒温的材质:碳毡/石墨毡/碳玻纤凝固毡/瓷质玻纤毡

电电加热、马弗:石墨/CFC/合金材料

pt100:K/N/C/S测量范围号

电原:KGPS/IGBT(仅适用性于中频调温)

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