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关键词:碳化硅涂层炉化学气相沉积炉碳化硅沉积炉
卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)
卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)
产品描述:
卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)可用于材料的表面涂层、基体改性、复合材料制备等
应用范围:
外延片基座、晶体炉高温耐材、热弯模具、半导体坩埚、陶瓷基复合材料等

卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)技术特征

利用一流的控住技术水平,能精密加工控住MTS的流量数据和有有压力,炉膛内沉积状气团不稳定性,有有压力价格波动标准小;

全封闭空间累积室,密封圈作用好,抗环境破坏本事强;

多入口流程气路,流场匀,无积聚盲区,积聚治疗效果要好;

多极高效率废气治理模式,能有效果治理高腐蚀不锈钢性废气、易爆物易爆汽体、固态物焊接烟尘及低融点粘结性结果,自然环境友善;

自选配新定制的防腐施工蚀涡流空气能机组,定期业务用时长,维护率超低;

使用工艺气氛:真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。

卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)产品规格

规格\参数HCVD-060609-SICHCVD-101015-SICVCVD-121220-SICHCVD-151530-SICHCVD-252035-SIC
工作区尺寸W×H×L(mm) 600×600×900 1000×1000×1500 1200×1200×2000 1500×1500×30002500×2000×3500
最高温度(℃) 1500 1500 1500 15001500
温度均匀性(℃) ±7.5 ±7.5 ±10 ±10±10
极限真空度(Pa) 1-100 1-100 1-100 1-1001-100
压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.670.67
加热方式电阻热敏电阻功率电阻内阻内阻

以下数据可会按照流程需要使用整改,不当为工程验收意义,具有以的技术要求范文和协议格式为界。

卧式化学气相沉积炉(SiC、BN)配置选择

机构结构:卧试-单开关门/双开关门;落地式-上有料/下送料

炉房门锁紧方案:全自然/自然

炉壳材料:里边不绣钢/全不绣钢

隔温布料材质:碳毡/石墨毡/碳氯纶干固毡/陶瓷厂家氯纶毡

预热器、马弗木头材质:石墨/CFC/轻金属

热电偶及补偿导线:K/N/C/S测量范围号

真空箱泵:设备泵组/耐浸蚀泵组

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