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关键词:真空烧结炉陶瓷烧结炉高温真空烧结炉碳化硅陶瓷烧结炉
碳化硅烧结炉(卧式)
碳化硅烧结炉(卧式)
产品描述:
主要用于半导体领域的碳化硅陶瓷制品的真空烧结、气氛烧结。
应用范围:
碳化硅陶瓷平台、导轨、方镜、反射镜、晶舟、桨、炉管、吸盘、卡盘、机械臂、聚焦环、刻蚀环、流化床反应容器等

碳化硅烧结炉(卧式)技术特征

可应用多温区经济独立控温,温暖饱满性好;

实用js3333线路检测中心自动化专业混凝土泵送温、大直流电引电技术工艺,能在高热必要条件下长耗时实用;

用到特定的高温度红外校正技术设备,控温确切,不确定度小;

全封密马弗,封密特效好,抗影响水平强;

联级高效化排放处理设计,生活环境友好关系,易整理;

供选择配脱脂系统性,达到陶瓷厂家食品的脱脂煅烧连续性治理 ;

适于工艺气氛:N2/Ar。

碳化硅烧结炉(卧式)产品规格

基本参数\规格HSC-050511HSC-100612HSC-101015H(D)SC-101050
工作区尺寸 W×H×L(mm) 500×500×1100 1000×600×1200 1000×1000×1500 1000×1000×5000
最高温度(℃) 1500-24001500-24001500-24001500-2400
温度均匀性(℃) ±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa) 1-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.67

这参数设置可会按照的工艺请求来懂得调整,不为为工程竣工验收前提,明确以科技方式和协议格式是以。

碳化硅烧结炉(卧式)配置选择

框架行式:柜式-单下班/双下班;柜式-上有料/下进料

炉车门锁紧的方式:手动式/自行

炉壳材料做:全冷轧钢/内部不锈钢管材质/全不锈钢管材质

隔温原材料:碳毡/石墨毡/碳弹性纤维凝固后毡

进行电加热、马弗质地:等动压石墨/CFC/工业陶瓷

pt100:K/N/C/S精度等级号

红外仪:单比色/双比色

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