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氧化铝烧结炉
氧化铝烧结炉
产品描述:
氧化铝烧结炉主要用于半导体领域的氧化铝陶瓷胚体和制品的气氛烧结、真空烧结。
应用范围:
载盘、导轨和工件台、机械臂、静电吸盘、透明陶瓷、靶材等、高导热基板、加热器、结构件。

氧化铝烧结炉技术特征

进行特别的炉胆格局和供暖器安装,炉温均匀分布性好;

有着韧性抽高压气,高压气焙烧、微负压焙烧、分压焙烧等功用;

适用高级的保温结构类型和的材料,炉胆保温性能方面好、蓄热少,比中国传统方案低碳20%上面;

使用非常规的较高温度红外测量方法技木,控温较准,计算误差小;

适于工艺气氛:N2/Ar/H2

氧化铝烧结炉产品规格

运作\尺寸HSO-040418HSO-050515HSO-060612HSO-060618VSO-0612VSO-0812VSO-1015
工作区尺寸 W×H×L(mm)400×400×1500600×600×12001000×800×13001000×800×2500φ600×1200φ800×1200φ1000×1500
最高温度(℃)1500-20001500-20001500-20001500-20001500-20001500-20001500-2000
温度均匀性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa)10-4-10010-4-10010-4-10010-4-10010-4-10010-4-10010-4-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.67
以上的参数指标可依照工艺流程要采取调低,不当为竣工验收证据,具有以高技术设计和合同样本准确。

氧化铝烧结炉配置选择

炉执手门锁紧玩法:自功/系统自动

炉壳原料:全合金钢/内部铝合金材质/全铝合金材质

保溫原料:碳毡/石墨毡/固定毡/陶瓷厂家玻璃纤维毡/重金属

高温器:金属制/石墨

pt100:C度数号(钨穿墙电缆保护管/钼穿墙电缆保护管/瓷器穿墙电缆保护管)

红外仪:单比色/双比色

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