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碳化硅烧结炉(卧式)
碳化硅烧结炉(卧式)
产品描述:
主要用于半导体领域的碳化硅陶瓷制品的真空烧结、气氛烧结。
应用范围:
碳化硅陶瓷平台、导轨、方镜、反射镜、晶舟、桨、炉管、吸盘、卡盘、机械臂、聚焦环、刻蚀环、流化床反应容器等

碳化硅烧结炉(卧式)技术特征

可用于多温区独立空间控温,高温匀性好;

主要包括js3333线路检测中心创新科技炫舞心悦过气温、大电压电流引电枝术,能在气温情况下长时刻应用;

主要包括比较特殊的气温红外自动测量高技术,控温准确度,误差度小;

全封闭马弗,密封治疗效果明显,抗环境破坏本事强;

联级高效益汽车尾气整理操作系统,场景十分友好,易请理;

可选择配脱脂系統,满足陶瓷工业制品工业制品的脱脂焙烧连续性整理;

适于工艺气氛:N2/Ar。

碳化硅烧结炉(卧式)产品规格

基本参数\型號HSC-050511HSC-100612HSC-101015H(D)SC-101050
工作区尺寸 W×H×L(mm) 500×500×1100 1000×600×1200 1000×1000×1500 1000×1000×5000
最高温度(℃) 1500-24001500-24001500-24001500-2400
温度均匀性(℃) ±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
极限真空度(Pa) 1-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h) 0.67 0.67 0.67 0.67

左右指标可跟据工艺流程规范要求去调正,不予为初验意义,实际的以水平规划和协议书应写。

碳化硅烧结炉(卧式)配置选择

结构类型方式:水平-单開門/双開門;旋转式-上起料/下卸料

炉执手门锁紧措施:人工/全自动

炉壳所选材质:全冷轧钢/里边不锈钢材料装饰管/全不锈钢材料装饰管

墙体保温金属材质:碳毡/石墨毡/碳食物纤维应用毡

加水器、马弗质地:等风压石墨/CFC/瓷质

热电偶温度计:K/N/C/S量程号

红外仪:单比色/双比色

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