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关键词:化学气相沉积炉CVD系统CVI沉积炉
卧式化学气相沉积炉(沉积炭)
卧式化学气相沉积炉(沉积炭)
产品描述:
卧式化学气相沉积炉(沉积炭)主要用于以碳氢气体(天然气、丙烷、丙烯)为碳源的预制体气相渗透增密处理
应用范围:
炭/炭刹车盘、炭炭板材、晶体炉坩埚、热压模具、高温发热体/紧固件、热场材料等

卧式化学气相沉积炉(沉积炭)技术特征

热敏电阻炉可采用了多温区独力控温,气温不匀性好;

选择智能化心理负压调空,心理负压冲击小;

封闭式式形成室,密封性体验好,抗感染专业能力强;

多入口加工工艺气路,的流程不规则,无积累状㓟盲区,积累状视觉质量好;

层级高效、性价比最高率的废气排放处理模式,学习环境友好合作,能高效、性价比最高率的整理渣油及副产品,易除去;

供选择配外循坏快冷系統,变凉周期短,加工学习压缩效率高;

卧式化学气相沉积炉(沉积炭)产品规格

数据\产品型号HCVD-060609-CHCVD-101015-CHCVD-121220-CHCVD-151530-CHCVD-152023-CHCVD-252035-C
工作区尺寸
W×H×L(mm)
600×600×9001000×1000×15001200×1200×20001500×1500×30001500×2000×23002500×2000×3500
最高温度(℃)150015001500150015001500
温度均匀性(℃)±5±7.5±10±10±10±10
极限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-100
压升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.67
加热方式电阻电阻功率电阻器电容电阻值电容
之内叁数可随着的工艺耍求使用調整,不于为初步验收根据,具体的以高技术计划和合同协议为标准。

卧式化学气相沉积炉(沉积炭)配置选择

节构类型:卧试-单开们/双开们;垂直-上长料/下进料

炉锁芯紧途径:带有大量手动/自动式

炉壳布料材质:全碳素钢/外层铝合金板/全铝合金板

保温层不锈钢材质:碳毡/石墨毡/复合材料材料凝固毡/瓷器合成纤维材料毡

高温器、马弗:石墨/CFC/金属材料

电偶:K/N/C/S精度等级号

主机电源:KGPS/IGBT(仅适用性于中频加温)

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