液相渗硅炉技术特征

功率电阻炉可所采用多温区独立性控温，摄氏度不规则性好；

电阻值炉选择js3333线路检测中心科技开发炫舞心悦过温度过高、大电流大小引电的技术，能在温度过高的条件下长时长平稳利用，也可选择感应开关蒸汽加热模式；

可以配全密闭式马弗室，封严目的好，抗危害专业能力强；

联级有效率废气排放解决系统的，大环境友好关系，易清理工作；

适于工艺气氛：真空/N₂/Ar。

液相渗硅炉产品规格

叁数\型号规格	VSII-060609	VSII-101015	VSII-121220	VSII-151530	ISII-0610	ISII-1120	ISII-1320	ISII-1520
工作区尺寸 W×H×L（mm）	600×600×900	1000×1000×1500	1200×1200×2000	1500×1500×3000	600×1000	1100×2000	1300×2000	1500×2000
最高温度（℃）	1800	1800	1800	1800	1800	1800	1800	1800
温度均匀性（℃）	±5	±7.5	±10	±15	±7.5/±10	±10/±15	±10/±15	±15/±20
极限真空度（Pa）	50	50	50	50	50	50	50	50
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻/感应	内阻/磁感应	热敏电阻/感受到	电阻功率/感性

往上参数表可会按照艺请求对其进行变动，不为为检收基本原则，实际以技巧方案怎么写和合同协议应写。

液相渗硅炉配置选择

组成部分组织形式：柜式-单開門/双開門；柜式-上有料/下打料

炉房门锁紧的方法：手动改手动/手动

炉壳材料：里层不锈钢管304/全不锈钢管304

保温层面料：碳毡/石墨毡/碳纤维材料棉应用毡

蒸汽电加热棒、马弗布料材质：石墨/CFC

热电偶温度计：C精度等级号