炭界面制备沉积炉技术特征

热敏电阻炉可通过多温区孤立控温，环境温度不规则性好；

利用智慧的心理压力调整，沉淀的心理压力浮动小；

全封性沉积状室，封闭结果好，抗污染源水平强； 

多管道工艺流程气路，流场匀，无火成岩卫生死角，火成岩结果好；

单级提高效率废气整理设备，生活环境和睦，易清理工作；

炭界面制备沉积炉产品规格

指标\型號	CVI-0305-C	CVI-0608-C	CVI-0612-C	CVI-0812-C	CVI-0817-C	CVI-1120-C	CVI-1320-C	CVI-1520-C
工作区尺寸 φ×H（mm）	300×500	600×800	600×1200	800×1200	800×1700	1100×2000	1300×2000	1500×2000
最高温度（℃）	1200	1200	1200	1200	1200	1200	1200	1200
温度均匀性（℃）	±5	±7.5/±10	±7.5/±10	±7.5/±10	±7.5/±10	±10/±15	±10/±15	±15/±20
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻/感应	热敏电阻/感器	热敏电阻/感测器	电阻值/红外感应	电容/红外感应	阻值/检测	电阻器/红外感应	电容/传器

这规格可结合流程的要求实行调整，不予为初步验收原则，主要以技术水平措施和协议范本为基准。

炭界面制备沉积炉配置选择

设计行驶：柜式-上长料/下打料

炉把手锁紧策略：人工机械/自然

炉壳材质原料：外层铝合金/全铝合金

保热原料：碳毡/石墨毡/复合材料材料干固毡

烧水器、马弗面料：石墨/CFC

热电偶及补偿导线：C/S精度等级号

外接电源：KGPS/IGBT(仅用做于中频进行加热)