氮化硼界面层/CVI沉积炉技术特征

功率电阻炉可利用多温区单独控温，平均温度不光滑性好；

主要包括智慧压国家宏观调控，压震荡小；

封闭室式岩浆岩室，良好的密封性见效快好，抗危害特性强； 

多入口工序气路，流场饱满，无形成沉积物任何死角，形成沉积物功能好；

三级效率排放治理 设备，场景合理，易整理；

氮化硼界面层/CVI沉积炉产品规格

性能参数\具体型号	CVI-0305-BN	CVI-0608-BN	CVI-0612-BN	CVI-0812-BN	CVI-0817-BN	CVI-1120-BN	CVI-1315-BN	CVI-1520-BN
工作区尺寸 φ×H（mm）	300×500	600×800	600×1200	800×1200	800×1700	1100×2000	1300×1500	1500×2000
最高温度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均匀性（℃）	±5	±7.5	±7.5	±7.5	±7.5	±10	±10	±15
极限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电容	电容	电容	内阻	电容	功率电阻	热敏电阻

往上参数表可不同生产技能追求展开优化，不是 为项目结束验收标准，具体化以技能计划和协商算起。

氮化硼界面层/CVI沉积炉配置选择

格局风格：立试-上有料/下喷料

炉房门锁紧原则：自功/系统自动

炉壳原材料：里边不锈钢装饰管吗装饰管吗/全不锈钢装饰管吗装饰管吗

保温层原料：碳毡/石墨毡/碳玻璃纤维应用毡

煮沸器、马弗质地：石墨/CFC

pt100：C/S测量范围号